详细摘要: 这款晶圆热退火炉是半导体晶片惰性气氛快速热退火系统,适合晶圆的直径为100mm,晶圆通过上部快速检修门手动装入腔室,并放置在热补偿石墨台上
产品型号:FPSEM-RTA100所在地:更新时间:2023-02-02 在线留言粉碎设备 混合设备 分离设备 浓缩结晶设备 传质设备 干燥设备 反应设备 换热设备 制冷设备 空分设备 储存设备 锅炉|加热设备 包装机械 输送设备 化工实验室设备
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